三甲基铝 | 75-24-1
在半导体制造过程中可用于沉积氧化铝层、氮化铝，作为DRAM电容器电介质、高k栅极电介质使用；在OLED薄膜封装中可用于水汽阻隔薄膜涂层、气体扩散阻隔膜制作；还可用于太阳能电池中硅表面钝化层。
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中文名：三甲基铝
英文名：Trimethylaluminium
化学式：C3H9Al
CAS号：75-24-1
熔点：15 °C
沸点：126 °C
密度：0.81 g/mL at 25 °C
闪点：40 °F
溶解度：溶于芳香烃、饱和脂肪烃和脂环烃
外观：透明无色液体
储存条件：0-6°C
