五(二甲基氨基)钽(V) | 19824-59-0

可作为TaN的前驱体，具有优良的导电性能，可用于半导体器件的电极部分的制造；在半导体后段工艺中作为扩散阻挡层使用；也可用于光伏电池正极的金属化；在45nm以下CMOS工艺中作为金属栅极材料前驱体使用；
可用于制备Ta2O5，具有较高的介电常数，可作为动态随机存储器(DRAM)、减反膜、高温阻抗、气敏传感器、电容器、高折射低色散特种光学玻璃、航空领域的高温特种陶瓷的关键材料；
可选择性催化合成更高立体选择性的手性药物；
在酶催化反应中提供额外的氧源，提高反应效率和稳定性；
作为新型载体材料，可调节催化剂的理化性质，实现药物的传递和释放。