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十二羰基三钌 | 15243-33-1

通过化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)等薄膜沉积工艺,可使用十二羰基三钌制造钌薄膜或钌化合物薄膜,应用于3nm芯片的制造过程;还可用于制作磁性存储器件、磁传感器、作为催化剂合成药物等。
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  • 中文名称:十二羰基三钌

    英文名称:Ruthenium carbonyl

    CAS号:15243-33-1

    分子式:C12O12Ru3

    分子量:639.33

    熔点:150 °C

    溶解度:微溶于烃类(如己烷、环己烷、苯)和丙酮

    外观:橙色粉末

    存储环境:惰性气体环境、室温

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